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超聲波清洗機的QDR是怎樣實現(xiàn)的

文章出處:公司新聞 責(zé)任編輯:東莞伊豪自動化科技有限公司 發(fā)表時間:2024-02-07

超聲波清洗機的QDR是怎樣實現(xiàn)的

一、噴灑清洗

超聲波清洗機上噴淋管路一共有雙路,產(chǎn)生互相交叉式噴灑,但去離子水不適合立即噴灑清洗晶圓表面,因晶圓在切溝作用下立即噴灑晶圓表面,易產(chǎn)生顆粒淤泥而環(huán)境污染晶圓表面,因而,在去離子水的噴灑環(huán)節(jié)中,必須對清洗壓力、水流量、方向和視角作出調(diào)整檢測,以達到顆粒環(huán)境污染少不錯實際效果。較好的噴頭所噴灑范疇包含所有晶圓及片盒;而不良噴灑清洗樣子,并沒有包含所有晶圓及片盒,沒被噴灑清洗的盲區(qū)地段,顆粒、殘渣及有機化學(xué)藥水殘余成分依然非常高,而無法達到較好的清洗實際效果。

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二、鼓泡游泳清洗

上噴灑與此同時,下噴淋管路由器底端兩邊持續(xù)滲水,然后由內(nèi)槽上沿四周外溢,那樣,每一個晶圓片縫、各個地方邊緣的去離子水都可以持續(xù)獲得升級。與此同時,純粹汽體(氫氣或空氣壓縮)自下噴淋管路進到干燥槽。鼓泡有以下幾個功效:

(1)增強了去離子水的侵蝕力,對干燥槽自身有非常好的自清洗功效;

(2)晶圓在流水中晃動,汽泡不可以沾附其上,提升了清洗實際效果;

(3)N2鼓泡降低去離子水里的氧氣含量,避免在晶圓表面形成金屬氧化物。

三、超聲波清洗

QDR增強了超聲波作用選擇項,與鼓泡游泳清洗更替功效,極大提升了清洗高效率,并進一步降低DI水使用量。最典型的運用方法是什么:上噴灑+排出→上噴灑+下滲水→超聲波+上噴灑+溢流式→鼓泡+上噴灑+溢流式→快排出

四、快沖快排

噴灑灌滿水時間與排水管道時長,對晶圓清洗品質(zhì)有很大影響。因晶圓表面暴露在空氣中會觸碰空氣中的氧原子或水蒸氣,在常溫狀態(tài),即會生長發(fā)育一層薄薄的氧化層(大約為0.5~1nm),這層當(dāng)然金屬氧化物厚度與暴露在空氣中的時間長短有關(guān)系,因而,噴灑灌滿水時間越久,晶圓暴露在空氣中的時間也也就越長,因此所形成的氧化層也越厚,那對晶圓清洗,是很不利的。QDR排水管道的時間也越少,排水管道流動速度就會越大,有益于去離子水帶去晶圓表面里的顆粒殘渣。因而,在QDR設(shè)計里,要盡可能的減少噴灑灌滿水時間與排水管道時長,完成快沖滅火吹,總體高效率也會得到提升。超聲波的QDR滅火吹及灌水時長指標(biāo)值為:引入時長:≤120秒,排出時長:≤12秒。